EPS-2T刻痕測(cè)厚儀是一款微觀測(cè)厚領(lǐng)域的顛覆性產(chǎn)品，采用白光光譜技術(shù)精準(zhǔn)定位獲得樣品表面信息，通過(guò)上下同心鏡頭對(duì)被測(cè)點(diǎn)的絕對(duì)位置，最終獲得精準(zhǔn)測(cè)量數(shù)據(jù)；設(shè)備同時(shí)還具備宏觀成像導(dǎo)航功能，根據(jù)實(shí)時(shí)圖像任意選擇被測(cè)量，為光譜鏡頭提供導(dǎo)航及坐標(biāo)定位。

EPS-2T特點(diǎn)：其是一個(gè)微觀厚度測(cè)量領(lǐng)域的顛覆性產(chǎn)品。已經(jīng)廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體晶圓的納米測(cè)量以及電池防爆片領(lǐng)域；設(shè)備能夠快速定位、智能編程、快速測(cè)量；在刻痕一圈取盡量多任意數(shù)量的點(diǎn)，進(jìn)行快速自動(dòng)化測(cè)量。數(shù)據(jù)更具科學(xué)性。編程后可最多一次放在15個(gè)樣品進(jìn)行批量自動(dòng)化測(cè)量，獲取更多批量樣品的平均值，數(shù)據(jù)額更具代表性。

產(chǎn)品能力：

可實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的多點(diǎn)掃描或線(xiàn)掃描及陣列掃描，一次性數(shù)據(jù)采集后通過(guò)專(zhuān)業(yè)光譜影像復(fù)合軟件計(jì)算， 實(shí)時(shí)對(duì)厚度測(cè)量判定；

本光譜測(cè)頭系統(tǒng), 完全非接觸式測(cè)量，保護(hù)工件免受劃痕；

全花崗石結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，高精度花崗石底座，立柱，保證機(jī)器的長(zhǎng)期穩(wěn)定性；

精密絲杠傳動(dòng)，高速，無(wú)間隙，靈敏可靠，定位準(zhǔn)確，運(yùn)動(dòng)精度高；

?？?高分辨率 CCD，高清晰度的影像效果，保證測(cè)量時(shí)高品質(zhì)的畫(huà)面；

伺服閉環(huán)控制,鼠標(biāo)或搖桿操控，全自動(dòng) CNC 功能： 自動(dòng)對(duì)焦， 自動(dòng)量測(cè)， 自動(dòng)尋邊，

自動(dòng)燈光調(diào)整，保證測(cè)量高效率。

專(zhuān)利多重空間燈光照明系統(tǒng)：在面對(duì)某些特殊被測(cè)量物時(shí)，利用不同光線(xiàn)效果，

能更精準(zhǔn)地抓取產(chǎn)品尺寸，達(dá)到上光源精準(zhǔn)測(cè)量時(shí)的高重復(fù)精度。

技術(shù)參數(shù)：